隨著我國凈化行業的迅猛發展,無塵車間無塵室已經被廣泛應用于微電子、光磁技術、生物工程、電子器械、精密儀表、航空航天、食品工業、化妝品工業、科研教學等高新技術產業的各行各業中。
無塵室需要將一定范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將無塵室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,通常根據實驗室空氣中的顆粒數量,對無塵室進行分類
潔凈室的分類根據國家不同有不同的等級規定,目前世界各國雖有自訂規格,但普遍還是采用美國聯邦標準【Federal Standard (FS) 209E, 1992】。
其中需要注意的,A、B、C、D級別的劃分是參照ISO標準(歐盟采納的方式),其本身包含了靜態要求和動態要求。舊版GMP采納的是美國的潔凈間劃分方式,舊版的潔凈間劃分僅有靜態的概念,不要求動態。
潔凈室按空氣清潔程度分類,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸為0.5μm,例如,1級、10級、100級無塵室最大塵埃粒子數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆。如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示,分別分為1級、10級、100級、1 000級、10000級、100000級,數值越小,凈化級別就越高,潔凈度越高造價就越高。
各行業對潔凈室的凈化要求也有所不同:
1級:主要用于制造集成電路的微電子工業,對集成電路的精確要求為亞微米。
10級:主要用于帶寬小于2微米的半導體工業。
100級:可用于醫藥工業的無菌制造工藝等。
1000級:主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配飛機蛇螺儀,裝配高質微型軸承等。
10000級:主要用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業,此外,萬級潔凈室在醫工業中也很常用。
100000級:十萬級潔凈室用于很多的工業部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統,液壓或氣壓系統的制造,食品飲料的生產,醫、藥工業也常常使用。